關(guān)鍵參數(shù)有4個：氣體濃度、相對濕度、滅菌溫度與滅菌時間。環(huán)氧乙烷滅菌憑借其效果好、兼容性佳、對器械損傷小、相對成本低，以及有完善的監(jiān)測手段，在消毒供應(yīng)中心得到了廣泛的使用。

氣體濃度。在一定的范圍內(nèi)，環(huán)氧乙烷殺菌效力隨著氣體濃度的增加而增加。行業(yè)規(guī)范WS310.2-2016里面規(guī)定小型環(huán)氧乙烷滅菌器的工作濃度為450mg/L – 1200mg/L。如果使用100%純環(huán)氧乙烷氣罐，則一次使用一罐能夠保證足夠的氣體濃度。環(huán)氧乙烷氣體濃度無法直接監(jiān)測，但是可以通過探頭感知的氣體壓強來推算。起先的氣體壓強下降是由于抽真空過程。隨著EO氣罐的刺破，環(huán)氧乙烷氣體釋放從而使氣體壓強維持恒定，是為平臺期。隨后進行通氣，氣壓也隨著環(huán)氧乙烷排出而降低或隨新鮮空氣的注入而升高。值得注意的是紅色曲線一直位于“標準大氣壓”的直線以下，從而保證環(huán)氧乙烷氣體在全過程不會泄露。

相對濕度。有充分的試驗表明35%的相對濕度下環(huán)氧乙烷的殺菌效力高。行業(yè)規(guī)范WS310.2-2016里規(guī)定的相對濕度是40%-80%，這是包外濕度。考慮到包裝材料會吸收一定的水分，包內(nèi)的濕度因而能維持在35%左右的值。當然不同滅菌物品與包裝材料吸濕性不一，這給包內(nèi)實際濕度帶來一定的波動。

滅菌溫度。在一定范圍內(nèi)溫度上升10℃，環(huán)氧乙烷的殺菌速度約增加一倍。然而考慮到環(huán)氧乙烷是用來滅菌不耐熱的物品，一般滅菌溫度范圍在37℃ -63℃之間。3M環(huán)氧乙烷滅菌器給出兩種溫度選擇：37℃ 或55℃。這里顯示的滅菌循環(huán)溫度在37℃。

滅菌時間。當氣體濃度、相對濕度和滅菌溫度被確定之后，滅菌時間也隨之確定了。行業(yè)規(guī)范WS310.2-2016里面規(guī)定小型環(huán)氧乙烷滅菌器的滅菌時間在1-6小時。當然到艙門打開之前的時間要比表格中的長，因為還需要對滅菌腔進行空氣通氣。